1. Метод кольорової точки: рівномірно нанесіть сурик на вимірювану поверхню. Після натирання нею стандартної пластини з’являться яскраві плями. У межах площі 25 мм × 25 мм, якщо плями розподілені рівномірно та численні (наприклад, більше або дорівнює 20 точкам), рівність є прийнятною. Цей метод підходить для швидкого грубого вимірювання, але має меншу точність.
2. Метод оптичної плоскої інтерференції: натисніть оптичну плоску (площинність<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Кільцеподібна смуга: значення помилки=кількість смуг × λ/2 (λ – довжина хвилі світла).
Пряма бахрома: значення помилки=кривизна × відстань між бахромою/2.
Цей метод забезпечує нанометрову-точність і підходить для огляду на невеликій-площині.
3. Індикаторний метод: використовуючи стандартну пластину як еталон, виміряйте поверхню точково за допомогою мікрометра. Якщо для налаштування використовується три{2}}точковий метод, різниця між максимальним і мінімальним показаннями є значенням похибки; метод мінімальної зони вимагає математичних розрахунків. Він забезпечує високу точність, але громіздкий в експлуатації.
4. Метод коліматора/рівня: вимірювання проводяться в точках, розташованих у сітці, і реєструється відхилення кожної точки відносно еталонної точки. Похибка площинності обчислюється методом найменших квадратів або методом мінімальної обмежувальної зони. Підходить для інспекції-великих площ, але потребує стабільного середовища.
